HEPA (高効率微粒子)エア・フィルター）。米国は1942年に専門開発グループを設立し、木繊維、アスベスト、綿の混合材料を開発した。その濾過効率は 99.96% に達し、これが現在の HEPA の初期形態です。その後、ガラス繊維ハイブリッド濾紙が開発され、原子力技術に応用されました。最終的に、この材料は0.3μmの粒子に対して99.97%以上の捕集効率を有することが判明し、HEPAフィルターと名付けられました。当時の濾過材はセルロース製でしたが、耐火性や吸湿性に劣るという問題がありました。当時は濾材としてアスベストも使われていましたが、発がん性物質が発生するため、現在の高効率フィルターの濾材はガラス繊維が主流となっています。
ULPA (超低浸透エアフィルター)。超大規模集積回路の発展により、人々は0.1μmの粒子（塵源は依然としてDOP）に対する超高性能フィルターを開発し、その濾過効率は99.99995％以上に達しました。ULPAフィルターと名付けられました。ULPAはHEPAに比べて構造がコンパクトで濾過効率が高いです。ULPAは今のところエレクトロニクス業界での利用が主であり、世界への応用例は報告されていない。製薬および医療分野.
投稿時間: 2021 年 9 月 23 日