クリーンルームの分類

クリーン部屋分類されるためには、国際標準化機構 (ISO) の基準を満たしている必要があります。ISO は、化学物質、揮発性物質、機密機器の取り扱いなど、科学研究およびビジネス慣行の機密性の高い側面に関する国際標準を導入するために 1947 年に設立されました。この組織は自主的に設立されましたが、確立された基準には、世界中の組織が尊重する基本原則が設定されています。現在、ISO には企業が参照できる 20,000 以上の規格があります。

1960 年、ウィリス ホイットフィールドは最初のクリーン ルームを開発、設計しました。クリーンルームは、そのプロセスと内容物を外部環境要因から保護するように設計および設計されています。部屋を使用する人や、その部屋でテストまたは建設されるアイテムによって、クリーン ルームの清浄度基準が満たされなくなる可能性があります。これらの問題要素を可能な限り排除するには、特別な制御が必要です。

部屋を使用する人や、その部屋でテストまたは構築された物品によって、クリーン ルームの清浄度基準が満たされなくなる可能性があります。これらの問題要素を可能な限り排除するには、特別な制御が必要です。

米国連邦規格 209 (A から D) では、1 立方フィートの空気中に 0.5μm 以上の粒子の量が測定され、このカウントはクリーン ルームの分類に使用されます。この計量用語は、規格の最新の 209E バージョンでも受け入れられています。米国は国内では連邦規格 209E を使用しています。より最近の標準は、国際標準化機構の TC 209 です。どちらの規格も、実験室の空気中に見つかった粒子の数に基づいてクリーン ルームを分類します。クリーン ルーム分類規格 FS 209E および ISO 14644-1 では、クリーン ルームまたはクリーン エリアの清浄度レベルについて、特定の粒子数の測定と計算が必要です。英国では、クリーン ルームの分類に英国規格 5295 が使用されています。この規格は BS EN ISO 14644-1 に置き換えられる予定です。

粒子濃度がゼロのもの。通常の室内空気はおよそクラス 1,000,000 または ISO 9 です。

ISO 14644-1 クリーンルーム規格

BS 5295 クリーンルーム規格

クリーン ルームの分類では、空気の立方体積あたりの粒子のサイズと量を計算することで清浄度のレベルを測定します。「クラス 100」や「クラス 1000」などの大きな数字は FED_STD-209E を参照し、空気 1 立方フィートあたり許容されるサイズ 0.5 μm 以上の粒子の数を示します。この規格では補間も許可されているため、「クラス 2000」などと記述することも可能です。

小さな数字は ISO 14644-1 規格を参照しており、空気 1 立方メートルあたりに許容される 0.1 μm 以上の粒子の数の十進対数を指定しています。したがって、たとえば、ISO クラス 5 のクリーンルームには最大 105 =10万レベル(m3 あたりの粒子数)。

FS 209E と ISO 14644-1 は両方とも、粒子サイズと粒子濃度の間の対数対対関係を前提としています。そのため、粒子濃度がゼロということはありません。通常の室内空気はおよそクラス 1,000,000 または ISO 9 です。