プロセスガスシステムの設置
パイプの切断には酸素アセチレン炎は使用せず、機械式パイプカッター（直径10mm以下）またはステンレス製電動ノコギリ（直径10mm以上）またはプラズマ法を使用して切断してください。切り込みの表面は滑らかできれいでなければならず、端面の偏差はパイプの外径の 0.05 を超えてはならず、1 mm を超えてはなりません。純アルゴン(純度99.999%)を使用してチューブ内のゴミやホコリを吹き飛ばし、油汚れを除去します。
高純度ガス・高清浄ガスパイプラインは、一般の産業用ガスパイプラインとは構造が異なります。ほんの少しの過失でもガスを汚染し、製品の品質に影響を与える可能性があります。したがって、パイプラインの建設は専門チームによって実行され、設計と建設の仕様を厳密に遵守し、あらゆる細部に真剣かつ責任を持って取り組んで、適格なパイプラインプロジェクトを作成する必要があります。
系内の不純物が均一に分布している場合、系からの排気ガスの濃度を系の不純物濃度とみなします。しかし、実際の状況は、クリーンなパージ バックグラウンド ガスがどこへ行っても、乱流による乱れによってシステムの不純物が再分布することになります。同時に、システム内には多数の「停滞ゾーン」が存在します。「よどみゾーン」のガスはパージガスによって容易に乱されません。これらの不純物は濃度差によってゆっくりとしか拡散せず、その後システムの外に取り込まれてしまうため、パージ時間は長くなります。連続パージ方法は、システム内の非凝縮性酸素、窒素などのガスに対しては非常に効果的ですが、水分や、銅材料から逃げる水素などの特定のガスに対しては効果が非常に低く、パージ時間が長くなります。一般に、銅管のパージ時間はステンレス鋼管の 8 ～ 20 倍です。