クリーンルームの気流の均一性が重要な理由

クリーンルームは、環境要因を厳密に管理するように設計されていますが、目的の清浄度レベルと ISO 分類基準を達成できるよう、専門的に設計された気流パターンがある場合にのみ効果を発揮します。ISO 文書 14644-4 には、厳密な浮遊粒子数と清浄度を維持するために、さまざまな分類レベルでクリーンルームで使用される気流パターンが記載されています。

クリーンルームの気流は、クリーンルーム内の空気を完全に変えて、粒子や潜在的な汚染物質が沈降する前に除去できるようにする必要があります。これを適切に行うには、空気の流れのパターンが均一でなければならず、空間のあらゆる部分にきれいな濾過された空気が確実に届くようにする必要があります。

クリーンルームの気流の均一性の重要性を分析するには、クリーンルーム内の 3 つの主要なタイプの気流を調べることから始める必要があります。

#1 一方向のクリーンルームエアフロー

このタイプのクリーンルームの空気は、ファン フィルター ユニットから「汚れた」空気を除去する排気システムまで、水平または垂直に部屋全体を一方向に移動します。一方向の流れでは、均一なパターンを維持するために、外乱をできるだけ少なくする必要があります。

#2 クリーンルームの非一方向性エアフロー

非一方向の気流パターンでは、空気は、部屋全体に間隔を置いて配置された、またはグループ化された複数の場所に配置されたフィルター ユニットからクリーンルームに入ります。空気が複数の経路に沿って流れるための入口点と出口点がまだ計画されています。

一方向気流のクリーンルームに比べて空気の質はそれほど重要ではありませんが、空気が完全に交換されていることを確認し、クリーンルーム内の「デッド ゾーン」の可能性を最小限に抑えるために特別な注意を払う必要があります。

#3 混合クリーンルームエアフロー

混合気流は、一方向の気流と非一方向の気流の両方を組み合わせたものです。一方向の気流は、作業エリアやより傷つきやすい材料の周囲の保護を強化するために特定のエリアで使用できますが、非一方向の気流は、部屋の残りの部分全体にきれいな濾過された空気を循環させます。

クリーンルームの気流が一方向か非一方向か混合かに関係なく、均一なクリーンルームの気流パターンが重要です。クリーンルームは、デッドゾーンや乱気流を介して汚染物質の蓄積が発生する可能性のある領域を防ぐために、すべてのシステムが機能する制御された環境であることを目的としています。

デッドゾーンとは、空気が乱流しているか変化していない領域であり、粒子の堆積や汚染物質の蓄積が生じる可能性があります。クリーンルーム内の乱気流も、清浄度に対する深刻な脅威です。乱気流は、気流パターンが均一でない場合に発生します。これは、部屋に入る空気の速度が均一でないことや、流入または流出する空気の経路に障害物があることが原因である可能性があります。