ファンフィルターユニット(FFU)

FFUの正式名称：ファンフィルターユニット高効率フィルタまたは超高効率フィルタ、ファン、ハウジングなどから構成されるクリーンルームシステムの最終製品です。屋内の乱流および層流の洗浄に使用されます。
FFU の洗浄方法: を実現できます。クリーンルーム空気清浄度レベルは ISO1 ～ ISO8 です。クリーンルーム内の空気はFFUによってクリーンルーム上の技術中間層からクリーンルーム内に送られ、循環空気は還気流路を通って技術中間層に戻されます。
FFU従来設計：亜鉛メッキ鋼板、ステンレス鋼板、アルミ板など、多彩なボディ材質を取り揃えております。
FFU制御システム：手動5速度調整、手動無段階速度調整、複数セットグループ制御、複数タッチスクリーン制御、およびFLONET管理システム。グループ管理システムは高い互換性と簡単な操作を備えています。10,000 台を超えるユニットのグループ制御の経験は、お客様が稼働中の製品のステータスをより効果的に管理し、タイムリーなフィードバックと処理を提供するのに役立ちます。

現代の半導体産業の急速な発展に伴い、クリーンルームの空気清浄度に対する要求はますます高くなっています。ハイレベルなクリーン分野での経験と成熟度高効率フィルター超高効率フィルター技術、FFU システム理論の改良、実用化経験の蓄積、生産プロセスの厳しい品質要件により、FFU システムは ISO1 ～ ISO8 の空気清浄度グレードを満たすことができます。クリーンルームの使用要件を満たしながら、将来のクリーンルームのアップグレード計画に対するより良い方向性を提供します。