クリーンルーム（工場）および関連設備の内容

の構築と使用クリーンルーム粒子の屋内への導入、発生、滞留を削減する必要があります。つまり、粒子の導入がないまたは少ない、粒子の発生がないまたは少ない、粒子の滞留がないまたは少ないなどです。

製品生産の要件に従って、パラメータのように温度, 湿度調整器yと プレッシャー 制御されるべきだ。製品生産の要求に応じて、クリーンルーム内の空気分布、風速、騒音、振動、静電気なども管理する必要があります。したがって、クリーンルーム（工場）およびその関連施設は大きく次の8つに分類できます。

(1) 空気浄化装置（冷凍装置、エアコンユニット、 フィルター、エアシャワー、きれいなテーブル）;

(2) クリーンルームシステム（地面/床、天井/FFU、金属サイディング、ドア、移籍期間/観察窓、ランプ);

（３）プロセス媒体供給システム（装置を含む）（純水、純ガス、特殊ガス、薬品）。

(4) 微振動制御と静電気保護。

(5) クリーン衣類システム、クリーンルーム用品（テーブル、椅子、キャビネット、ラック、掃除機）、クリーンルーム消耗品。

(6) 検査機器。

(7) 環境保全設備（排ガス処理システム、廃水処理システム）。

(8)D専用装置（生物隔離装置、微小環境）

電子製品の製造における製造環境の管理要件には、室内の空気の清浄度に関する厳しい要件があるだけでなく、製品と直接接触するあらゆる種類の高純度媒体の純度不純物含有量についても厳しい要件があります。電子製品の製造プロセス - 高純度水、高純度ガス、高純度化学薬品など。一部の電子製品には、振動、静電気、電磁干渉、電源などに対するより厳しい要件もあります。