外気系差圧制御

クリーンゾーン内では、屋外雰囲気に対する各部屋の圧力差を「絶対圧差」といいます。

隣り合う部屋や隣り合うエリアとの間の圧力差を「相対圧差」、あるいは略して「圧力差」といいます。

「圧力差」の役割：

空気は必ず絶対差圧の大きい場所から絶対圧差の小さい場所へ流れるため、清浄度の高い室内の絶対圧差が大きいほど、室内の絶対圧差が小さくなるようにする必要があります。清潔度が低い部屋。これにより、クリーンルーム内が通常の作業を行っている場合や、室内の気密性が損なわれた場合（ドアの開放など）、清浄度の高い領域から清浄度の低い領域へ空気が流れることができ、クリーンルームの清浄度が維持されます。清浄度レベルが高い部屋は、清浄度レベルが低い部屋の清浄度の影響を受けません。大気汚染と干渉。この種の汚染と相互汚染は多くの人々に目に見えず無視されているため、同時にこの種の汚染は非常に深刻で取り返しのつかないものです。一度汚染されてしまうとトラブルは尽きません。

したがって、私たちはクリーンルーム内の空気汚染を「人為的汚染」に次ぐ「第二の汚染源」として挙げています。この種の汚染は自浄作用で解決できるという人もいますが、自浄には時間がかかります。一瞬にして部屋の設備を汚染してしまうと 設備や資材まで汚染されてしまっているので、自浄作用は効果がありません。したがって、差圧制御を確実に行う必要性は明らかである。

外気システムは、外気ベンチレーターとパイプライン付属品で構成される独立した空気処理システムです。外気換気装置は、屋外の新鮮な空気を濾過して浄化し、パイプラインを通じて室内に運びます。同時に室内の汚れた低酸素空気を除去します。to外。