ダクト付き外気システム

マイクロエレクトロニクスや医薬品製造のクリーンルームでは、製造工程において各種の酸性・アルカリ性物質、有機溶剤、一般ガス、特殊ガスが使用・発生することが多く、アレルギー用医薬品、一部のステロイドなど 有機医薬品、高活性医薬品、毒性医薬品の製造工程では、該当する有害物質がクリーンルーム内に排出・漏洩します。したがって、上記製品の製造を行うクリーンルーム内には、各種有害物質、ガス、粉塵等が発生する可能性のある製造工程設備や工程には、局所排気装置または全室排気装置を設置してください。生産工程中に排出される排ガスの種類に応じて、排気装置（システム）は以下の種類に大別されます。

(1) 一般的な排気システム

(2) 有機ガス排気装置

(3) 酸性ガス排気装置

(4) アルカリガス排気装置

(5) 高温ガス排気装置

(6) 塵埃を含む排気系

(7) 特殊ガス排気装置

(8) 医薬品製造における有害・有毒ガスの排出システム