冷却水システム

　　プロセス冷却水システムは、チラー、ポンプ、熱交換器、水タンク、フィルター、およびプロセス機器の部品で構成されます。

　　 ウォーターチラー: 冷却水システムに冷気源を提供します。

　　ウォーターポンプ:水を加圧して冷却システム内での循環を確保します。

　　 熱交換器: この装置を使用して冷水システムと冷水システムの間で熱を交換し、システムの負荷端で発生した熱を冷水システムに伝達します。熱交換器には多くの種類があり、その形状によりシェルアンドチューブ型、プレート型、プレートフィン型、ヒートパイプ型などに分類されます。比較すると、プレート式熱交換器には設置面積が小さく、伝熱面積が大きいという利点があります。スペースや面積のコスト特性を考慮すると、​​半導体工場では、土地面積とエンジニアリングコストを節約するために、設置面積が小さい装置が好まれます。

　　水タンク：オープンシステムの水タンクは主に水源を補充する役割を果たします。密閉系の水槽は拡張水槽を選択する必要があります。拡張水タンクには3つの機能があります。1 つは、システム内の水の膨張と収縮を封じ込めて補償することです。もう1つは、密閉循環水システムに安定した圧力を提供し、システムの安定化に役割を果たすことです。3 つ目はシステム ウォーター ポンプを示すもので、通常は膨張タンクがシステム ウォーター ポンプを開始または停止する信号を送信します。

　　 フィルター: 固体粒子を濾過して除去します。プロセス冷却水システムには、冷水と冷却水という 2 つの比較的独立したシステムがあります。冷水はチラーによって提供され、冷水と冷却水が熱交換して冷却水を冷却し、機器の温度を下げます。生産設備から水ポンプを経て熱交換器に汲み上げられた水は、冷水量を制御することでプロセス冷却水の温度を確保し、フィルターを通って生産ライン設備に送られ、再び設備に戻ります。ウォーターポンプ。形成過程の冷却水は繰り返し循環します。冷水はチラーに直接戻されます。