循環空気系差圧制御

差圧を維持するために講じられる措置:

一般に、空気供給システムは風量を一定にするためのより多くの方法を採用しています。つまり、まずクリーンルームの空気量を比較的一定に保ち、クリーンルームの戻り空気量または排気量を調整して空気量を制御します。クリーンルームの圧力差を調整し、クリーンルームの圧力差を維持します。価値。クリーンルームの戻り・排気分岐管に手動分割多葉調整弁やバタフライバルブを設置し、戻り・排気風量を調整し室内の圧力差を制御します。空調システムのデバッグ時にクリーンルーム内の圧力差を調整します。空調システムの運転中、クリーンルーム内の圧力差が設定値からずれると、調整がさらに面倒になります。クリーンルームの戻り（排気）空気出口に制振層（単層不織布、ステンレスフィルター、アルミ合金フィルター、ナイロンフィルターなど）を設置し、クリーンルームの正圧を効果的に確保します。クリーンルーム内でも使用可能ですが、頻繁に交換する必要があります。制振層のフィルタースクリーンは、クリーンルーム内の正圧が高くなりすぎるのを防ぎます。隣り合う部屋の間の壁に残圧弁を設置し、正圧を制御します。長所は、装置がシンプルで信頼性が高いことですが、短所は、残圧弁のサイズが比較的大きく、通気性が限られ、設置が不便で、エアダクトとの接続が不便であることです。クリーンルーム戻り（排気）空気分岐制御弁の弁軸に電動アクチュエータシステムを設置し、対応するバルブと電気制御弁を形成します。クリーンルーム内の圧力差をフィードバックし、バルブ開度を微調整し、クリーンルーム内の圧力差が設定値に戻るように自動調整します。この方法は、クリーン ルーム内の圧力差を制御する上でより信頼性が高く、正確であるため、工学現場で広く使用されています。一般的なクリーンルームの還気（排気）分岐制御弁や差圧表示が必要なクリーンルームに設置可能です。

クリーンルームの給気分岐管と戻り（排気）空気分岐管にはベンチュリ風量調整弁が設置されています。ベンチュリバルブには、安定した空気の流れを提供できる定風量バルブと、安定した空気の流れを提供できる定風量バルブの3種類があります。双安定バルブは、2 つの異なる空気流量、つまり最大流量と最小流量を提供できます。可変空気量バルブは、1 秒未満の応答と流量フィードバック信号による閉ループ制御空気流量をコマンドに渡すことができます。

ベンチュリ弁は、エアダクト圧力の変化に影響されない、素早い応答（1秒以下）、精密な調整などの特徴を持っていますが、装置が比較的高価であり、系の差圧制御が必要な用途に適しています。高精度かつ高信頼性であること。

定風量バルブと双安定バルブの使用により、クリーンルームの給排気量を厳密に制御し、安定した差圧風量を形成し、クリーンルーム内の圧力差を安定に制御します。

給気可変空気量バルブは部屋の調整に使用され、給気管バルブの流れが排気管バルブの流れに追従し、安定した差気量を形成し、クリーンな空気の安定した圧力を制御できます。部屋。

供給空気固定風量バルブと戻り空気可変風量バルブを使用して部屋を制御すると、戻り空気バルブが室内圧力差の変化に追従し、部屋圧力差を自動的に調整して安定した差圧空気を形成できます。クリーンルームの圧力差の安定性を制御します。