1. クリーンルームの空気清浄度は次のようにテストする必要があります。
(1) 空の状態、静的テスト
空の状態のテスト: クリーン ルームが完成し、浄化された空調システムが通常に動作しており、テストは室内にプロセス装置や生産担当者がいない状態で実行されます。
静的テスト: クリーン ルーム浄化空調システムは正常に動作しており、プロセス機器は設置されており、室内に生産担当者がいない状態でテストが実行されます。
(2) 動的テスト
クリーン ルームは通常の生産条件下でテストされています。
クリーンルーム内の風量、風速、正圧、温度、湿度、騒音の検出を、一般用および空調の関連法規に基づいて実行できます。
クリーンルーム(エリア)空気清浄度レベル表
清浄度レベル | 最大許容粉塵数/m3≧0.5μm粉塵数 | ≧5μm粉塵数 | 微生物の最大許容数 浮遊菌/m3 | 沈降菌・皿 |
100クラス | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000クラス | 350、000 | 2、000 | 100 | 3 |
100、000クラス | 3、500、000 | 20、000 | 500 | 10 |
300、000クラス | 10、500、000 | 60、000 | 1000 | 15 |